DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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73cd6bc5c9
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将WaferRobot和TrayRobot的控制逻辑从EFEM中分离出来。
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2022-12-20 16:00:11 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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a896af2af0
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修正程序升级后没有Recipe.Behaviour.相关权限的问题。
所有模块支持Offline超时提醒功能。
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2022-12-07 21:15:14 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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c7a7068f2d
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修正Overview界面Cassette中修改Wafer ID后,数据库没有同步修改的问题。
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2022-11-25 16:42:56 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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cef508a106
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新增修改WaferID的功能。
新增Overview界面Job创建窗口中的Wafer列表中显示WaferID+SequenceName。
修正Overview界面中Wafer右键菜单Alert Info的IsEnabled状态,无Wafer时禁用此菜单项。
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2022-11-25 16:11:55 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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f5320327c2
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增加设备锁。
Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.
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2022-11-18 12:22:48 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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fd1fc148f8
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修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。
增加新类DeviceLocker。
SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。
TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
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2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
THINKPAD
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d105d0c452
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Update from svn.
1.PM Rotation取消ServoReady信号检查
2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable
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2022-10-19 10:39:00 +08:00 |
THINKPAD
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24c81e8ac3
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从svn更新。
修正AE测温连接超时问题。
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2022-10-18 13:40:43 +08:00 |
THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |