DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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d5a9522aed
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修正LoadLockPurgeRoutine和UnLoadPurgeRoutine中设置DO的时机。
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2022-11-22 16:58:21 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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4c7aa1ef93
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修正LoadLockPurgeRoutine中执行_tmIoInterLock.DoLLCyclePurgeRoutineRunning = false引发的互锁错误。
修正UnLoadPurgeRoutine中执行_tmIoInterLock.DoLLCyclePurgeRoutineRunning = false引发的互锁错误。
修正SimulatorSystem中充气速率,避免仿真时反复执行PrepareTransfer。
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2022-11-22 11:57:23 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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45895a79ea
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调整LoadLockPumpRoutine.cs中LockPump2()的执行时机。
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2022-11-18 17:27:31 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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511c0a2a07
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以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。
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2022-11-18 15:07:11 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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f5320327c2
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增加设备锁。
Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.
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2022-11-18 12:22:48 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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0fe32dc53e
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调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中,强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时,已确保收到正确的DI信号:UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
THINKPAD
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84e529ff48
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从Load、UnLoad PrepareTransferRoutine中移除吹扫次数的设定。
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2022-11-08 15:59:23 +08:00 |
THINKPAD
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a48bf32371
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Update from SVN.
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2022-11-02 23:47:56 +08:00 |
THINKPAD
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eb7c2a64f5
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修正AETemp对象Reset()方法中读取EnableLog设置时使用的配置名称。
LoadLockGroupRoutine的Monitor方法中先执行TryResetServo()以重置伺服驱动器。
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2022-10-18 16:17:19 +08:00 |
THINKPAD
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432a413904
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LoadLockGroupRoutine.cs增加自动复位伺服功能。
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2022-10-15 13:01:13 +08:00 |
THINKPAD
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02e00cc4f0
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |