调整LoadLock腔Purge时机,Group后总是Purge,但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。 修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。 LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。