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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD eba3ff535a 修正AutoTransfer中MonitorUnLoadTask函数中检测正在运行的Wafer总数的计算方法。 2022-11-28 14:29:45 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD c7a7068f2d 修正Overview界面Cassette中修改Wafer ID后,数据库没有同步修改的问题。 2022-11-25 16:42:56 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD cef508a106 新增修改WaferID的功能。
新增Overview界面Job创建窗口中的Wafer列表中显示WaferID+SequenceName。
修正Overview界面中Wafer右键菜单Alert Info的IsEnabled状态,无Wafer时禁用此菜单项。
2022-11-25 16:11:55 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 92f36d318e AutoTransfer中Load任务中增加注释。 2022-11-24 13:44:31 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 98cab1dd78 修改TrayRobot和WaferRobot状态名称,使其更简短。
修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时,第一个Tray进入Load后,无法进行后续动作的问题。
2022-11-24 13:34:37 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 95c779cf76 修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。
新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。
优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑,当Wafer进入UnLoad后随即开始计时,直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中,已提高效率。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad,并且Load有盘准备让TMRobot拿时,系统冲突无动作的问题。
2022-11-24 09:15:38 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 4589fa3b39 BaseRoutineWithDeviceLocker类中的LockPump2函数默认超时改为30分钟。
修正UnLoadBaseRoutine的SlowPump()函数错误锁定Pump2的问题。
调整AutoTransfer的UnLoad逻辑,如果Load中有盘准备传入TM,则禁止处理UnLoad任务。
2022-11-23 22:53:50 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD a562f2cd3a 优化ReturnAllWafer中UnLoad腔Purge的逻辑。 2022-11-23 14:43:14 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD ca573ac511 Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。
当TMRobot向Buffer放盘后,可根据Sequence中的配置进行Purge。
2022-11-23 13:27:23 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD fafa211f0c 修正AutoTransfer和ReturenAllWafer中没有正确读取UnLoad Purge PumpDelay参数的问题。 2022-11-23 10:30:03 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD eea091a572 UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。 2022-11-23 10:24:01 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 339b56e06d 新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定,当Sequence中的Cooling时间不可用时,回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
2022-11-23 09:24:24 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD f6035fb5cc Load腔Purge逻辑修改,无论Tray来自哪里,均只Purge一次。
优化传盘逻辑,测试正常。
2022-11-22 18:04:20 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 511c0a2a07 以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。 2022-11-18 15:07:11 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD f5320327c2 增加设备锁。
Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.
2022-11-18 12:22:48 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD e9651ccfe3 AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机,Group后总是Purge,但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
2022-11-17 18:01:52 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 6574353eb6 SchedulerLoadLock中增加Wafer Place以后的Purge标记。 2022-11-17 10:31:18 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD b247ae94c1 修改ReturnAllWafer中的拼写错误。 2022-11-17 09:58:59 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 84fc071e5d 优化ReturnAllWafer。
1.当Wafer机械手上的Wafer来源不明时,给出警告。
2.重写UnLoad流程,增加Purge

优化AutoTransfer中的变量名。
2022-11-16 17:19:06 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD fd1fc148f8 修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。

增加新类DeviceLocker。

SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。

TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
2022-11-16 14:18:05 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 331702a0d8 AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
2022-11-15 17:18:13 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 0fe32dc53e 调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中,强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时,已确保收到正确的DI信号:UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
2022-11-14 16:42:44 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 6b57315404 从SchedulerLoadLock中移除SeparateWaferTray()和CheckWaferTraySeparated()的实现。 2022-11-14 09:22:13 +08:00
THINKPAD 82bdf2e367 更新需求文件。
版本更新到v1.0.0.26
2022-11-01 15:38:35 +08:00
THINKPAD d105d0c452 Update from svn.
1.PM Rotation取消ServoReady信号检查
2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable
2022-10-19 10:39:00 +08:00
THINKPAD 24c81e8ac3 从svn更新。
修正AE测温连接超时问题。
2022-10-18 13:40:43 +08:00
THINKPAD 19561cd0cf 优化CreateJob函数中校验Sequence错误时的输出信息。 2022-10-13 22:04:38 +08:00
THINKPAD 02e00cc4f0 将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。 2022-09-29 17:33:25 +08:00
THINKPAD 8515476acb Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00