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Sic04
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD e9651ccfe3 AutoTransfer优化。 
调整LoadLock腔Purge时机，Group后总是Purge，但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
 2022-11-17 18:01:52 +08:00
THINKPAD 8515476acb Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00