增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。 当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。 增加新类DeviceLocker。 SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。 TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。