 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
eea091a572
|
UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。
|
2022-11-23 10:24:01 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
339b56e06d
|
新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定，当Sequence中的Cooling时间不可用时，回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
|
2022-11-23 09:24:24 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
f6035fb5cc
|
Load腔Purge逻辑修改，无论Tray来自哪里，均只Purge一次。
优化传盘逻辑，测试正常。
|
2022-11-22 18:04:20 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
e9651ccfe3
|
AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机，Group后总是Purge，但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
|
2022-11-17 18:01:52 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
331702a0d8
|
AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作，Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
|
2022-11-15 17:18:13 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
0fe32dc53e
|
调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
|
2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
|
THINKPAD
|
27d8baff42
|
更新需求文件。
|
2022-11-04 09:22:55 +08:00 |
|
THINKPAD
|
1819f01e8b
|
PM1.Operation页面MFC流量显示增加权限控制。
|
2022-11-02 16:06:30 +08:00 |
|
THINKPAD
|
7b783501f7
|
添加AE读取温度间隔时间配置项。
|
2022-10-28 22:59:18 +08:00 |
|
THINKPAD
|
dd8e525888
|
恢复PM DI-345.
移除DO-240.
|
2022-10-18 14:43:48 +08:00 |
|
THINKPAD
|
a77364a1f9
|
PM Interlock增加DI-84\85\86\87限制。
修改系统设置中的一些错误描述。
修改系统设置中MFC32的最大值和默认值。
PMMotion界面中恢复隔热罩Jog功能。
Recipe Editor中始终使能Refresh列表按钮。
|
2022-10-18 10:41:32 +08:00 |
|
THINKPAD
|
cd0f6ca5c1
|
IoProviderConfig.xml中增加针对VirtualIoProvider的配置。[未生效，仍在调试]
|
2022-10-15 13:01:14 +08:00 |
|
THINKPAD
|
203042ac3c
|
新增软点DO-240。
新增系统配置项PM.PressureAboveATMSW。
DO-240绑定到PT1，当PT1超过设定值时，DO-240输出1。
|
2022-10-13 23:14:59 +08:00 |
|
THINKPAD
|
ace87057b8
|
PMMotionViewModel.cs中的函數签名改为out string，直接输出信息，使信息更加准确。
优化IoInterlock.cs中函数SetPressureRisingUpRate()的语法。
系统设置中的项目LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位改为分钟。
|
2022-10-09 22:38:21 +08:00 |
|
THINKPAD
|
0316d9aa9f
|
Recipe Editor 中的Validate按钮增加错误数量的Badge。
默认关闭PM2.
默认正常显示Recipe数值。
|
2022-09-27 17:29:13 +08:00 |
|
THINKPAD
|
d1539b65a4
|
1.修正切换页面时，Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。
2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2，仅保留PM1。
|
2022-09-26 10:49:29 +08:00 |
|
THINKPAD
|
8515476acb
|
Add project files.
|
2022-09-19 09:16:33 +08:00 |