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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD ef91b9d709 移除RobotBase对象中fPlaceComplete和fPickComplete函数中的延时,以解决WaferRobot错误的问题。
修改System.Scheduler:GroupWaferBySequence的默认值为false,允许针对单个Wafer修改Recipe。
2022-11-25 13:42:24 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 92e95897ec 上银Aligner优化。 2022-11-25 11:55:55 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD c93a81e586 版本更新到v1.0.2.36 2022-11-24 16:26:27 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 92f36d318e AutoTransfer中Load任务中增加注释。 2022-11-24 13:44:31 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 98cab1dd78 修改TrayRobot和WaferRobot状态名称,使其更简短。
修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时,第一个Tray进入Load后,无法进行后续动作的问题。
2022-11-24 13:34:37 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 205591db51 修正SicRT编译时本地的测试账号会部署到客户端的问题。 2022-11-24 11:11:38 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD b8d715d66b 版本升级至v1.0.2.35 2022-11-24 10:59:37 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 95c779cf76 修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。
新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。
优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑,当Wafer进入UnLoad后随即开始计时,直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中,已提高效率。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad,并且Load有盘准备让TMRobot拿时,系统冲突无动作的问题。
2022-11-24 09:15:38 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 4589fa3b39 BaseRoutineWithDeviceLocker类中的LockPump2函数默认超时改为30分钟。
修正UnLoadBaseRoutine的SlowPump()函数错误锁定Pump2的问题。
调整AutoTransfer的UnLoad逻辑,如果Load中有盘准备传入TM,则禁止处理UnLoad任务。
2022-11-23 22:53:50 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD da3e31b12d 主程序版本升级至v1.0.2.34
Simulator版本升级至v1.7.2.2
2022-11-23 17:32:18 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD a562f2cd3a 优化ReturnAllWafer中UnLoad腔Purge的逻辑。 2022-11-23 14:43:14 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD ca573ac511 Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。
当TMRobot向Buffer放盘后,可根据Sequence中的配置进行Purge。
2022-11-23 13:27:23 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD fafa211f0c 修正AutoTransfer和ReturenAllWafer中没有正确读取UnLoad Purge PumpDelay参数的问题。 2022-11-23 10:30:03 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 9b7a7fea15 优化Sequence中UnLoad Purge参数的名称。 2022-11-23 10:27:04 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD eea091a572 UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。 2022-11-23 10:24:01 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 339b56e06d 新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定,当Sequence中的Cooling时间不可用时,回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
2022-11-23 09:24:24 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD f6035fb5cc Load腔Purge逻辑修改,无论Tray来自哪里,均只Purge一次。
优化传盘逻辑,测试正常。
2022-11-22 18:04:20 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 8ec29a9fa3 修正TMRobotPlaceRoutine中没有正确关闭闸板阀的问题。
需求文件更新。
2022-11-21 20:33:57 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 88379f8831 取消TM Place后的Purge。 2022-11-21 14:53:03 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 81445c130c Update from SVN.
修正Aligner无法Home的问题。
2022-11-19 15:32:12 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 8dea28be9c 升级版本号到v1.0.1.30 2022-11-18 18:14:26 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD bf5f38f5ca 版本号升级。 2022-11-18 15:18:16 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 511c0a2a07 以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。 2022-11-18 15:07:11 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD f5320327c2 增加设备锁。
Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.
2022-11-18 12:22:48 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD e9651ccfe3 AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机,Group后总是Purge,但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
2022-11-17 18:01:52 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 6574353eb6 SchedulerLoadLock中增加Wafer Place以后的Purge标记。 2022-11-17 10:31:18 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD b247ae94c1 修改ReturnAllWafer中的拼写错误。 2022-11-17 09:58:59 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 84fc071e5d 优化ReturnAllWafer。
1.当Wafer机械手上的Wafer来源不明时,给出警告。
2.重写UnLoad流程,增加Purge

优化AutoTransfer中的变量名。
2022-11-16 17:19:06 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD fd1fc148f8 修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。

增加新类DeviceLocker。

SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。

TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
2022-11-16 14:18:05 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 331702a0d8 AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
2022-11-15 17:18:13 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 0fe32dc53e 调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中,强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时,已确保收到正确的DI信号:UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
2022-11-14 16:42:44 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 0844e57da7 SicRT输出xml格式log的滚动周期从300天改为90天。 2022-11-14 09:23:15 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 6b57315404 从SchedulerLoadLock中移除SeparateWaferTray()和CheckWaferTraySeparated()的实现。 2022-11-14 09:22:13 +08:00
THINKPAD 2947d70fa2 移除龙工修改的Recipe相关的代码,(验证后在推入主线) 2022-11-04 09:52:35 +08:00
THINKPAD 002a11be96 Merge branch '123' 2022-11-04 09:50:57 +08:00
THINKPAD 27d8baff42 更新需求文件。 2022-11-04 09:22:55 +08:00
THINKPAD a48bf32371 Update from SVN. 2022-11-02 23:47:56 +08:00
THINKPAD 1819f01e8b PM1.Operation页面MFC流量显示增加权限控制。 2022-11-02 16:06:30 +08:00
THINKPAD 8d1301a0e9 更新Alarm配置清单。 2022-11-02 09:35:04 +08:00
THINKPAD 82bdf2e367 更新需求文件。
版本更新到v1.0.0.26
2022-11-01 15:38:35 +08:00
THINKPAD bd58a9dd84 PMProcessAbortRoutine中Mfc开始Ramp后,等待设定的时间。
版本更新到v1.0.0.25
2022-10-31 18:45:21 +08:00
THINKPAD 7b783501f7 添加AE读取温度间隔时间配置项。 2022-10-28 22:59:18 +08:00
THINKPAD 069869c266 修正PM气体总流量统计。
修正基恩士相机无法设置图片文件名的问题。
2022-10-28 15:58:54 +08:00
THINKPAD 81cc704370 修正RecipeStep复制时比例值未被复制的问题。
版本更新到v1.0.0.21
2022-10-27 09:01:49 +08:00
THINKPAD 23f35128a2 更新Issues清单。
版本更新至v1.0.0.20
2022-10-25 15:36:46 +08:00
THINKPAD ff5e299843 取消磁流体转速为0时Disable的功能。
恢复Unload腔执行SlowPump时,如果Interlock不满足,产生Alarm,而不是Warning。
删除TM/Interlock/DO-62的DI-8限制条件。
2022-10-24 11:10:40 +08:00
THINKPAD c00d2b4c14 版本升级到v1.0.0.18 2022-10-21 17:30:13 +08:00
THINKPAD 44b18ec135 版本更新到v1.0.0.17 2022-10-19 16:12:46 +08:00
THINKPAD d105d0c452 Update from svn.
1.PM Rotation取消ServoReady信号检查
2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable
2022-10-19 10:39:00 +08:00
THINKPAD c4fd8bb828 版本更新至v1.0.0.15 2022-10-18 17:14:32 +08:00