DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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ab3478e500
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修正TM Purge时可能充气到ATM的问题。
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2022-11-28 13:29:48 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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13854a92ab
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新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时,以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。
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2022-11-28 09:08:49 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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cccd9748a8
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新增Load、UnLoad取放盘时持续vent的功能。
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2022-11-26 22:57:52 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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98cab1dd78
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修改TrayRobot和WaferRobot状态名称,使其更简短。
修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时,第一个Tray进入Load后,无法进行后续动作的问题。
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2022-11-24 13:34:37 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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a670b2d2bc
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修正UnLoad进行CoolingAndPurge时,未显示PurgeLoop的问题。
修正UnLoad进行CoolingAndPurge时,Purge完成后未及时释放Pump2的问题。
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2022-11-24 10:12:47 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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95c779cf76
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修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。
新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。
优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑,当Wafer进入UnLoad后随即开始计时,直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中,已提高效率。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad,并且Load有盘准备让TMRobot拿时,系统冲突无动作的问题。
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2022-11-24 09:15:38 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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4589fa3b39
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BaseRoutineWithDeviceLocker类中的LockPump2函数默认超时改为30分钟。
修正UnLoadBaseRoutine的SlowPump()函数错误锁定Pump2的问题。
调整AutoTransfer的UnLoad逻辑,如果Load中有盘准备传入TM,则禁止处理UnLoad任务。
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2022-11-23 22:53:50 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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ca573ac511
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Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。
当TMRobot向Buffer放盘后,可根据Sequence中的配置进行Purge。
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2022-11-23 13:27:23 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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eea091a572
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UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。
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2022-11-23 10:24:01 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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339b56e06d
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新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定,当Sequence中的Cooling时间不可用时,回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
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2022-11-23 09:24:24 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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d5a9522aed
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修正LoadLockPurgeRoutine和UnLoadPurgeRoutine中设置DO的时机。
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2022-11-22 16:58:21 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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4c7aa1ef93
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修正LoadLockPurgeRoutine中执行_tmIoInterLock.DoLLCyclePurgeRoutineRunning = false引发的互锁错误。
修正UnLoadPurgeRoutine中执行_tmIoInterLock.DoLLCyclePurgeRoutineRunning = false引发的互锁错误。
修正SimulatorSystem中充气速率,避免仿真时反复执行PrepareTransfer。
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2022-11-22 11:57:23 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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8ec29a9fa3
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修正TMRobotPlaceRoutine中没有正确关闭闸板阀的问题。
需求文件更新。
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2022-11-21 20:33:57 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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88379f8831
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取消TM Place后的Purge。
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2022-11-21 14:53:03 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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653dd11492
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修正UnLoadPurgeRoutine的Start()函数没有锁定Pump2的问题。
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2022-11-21 09:43:18 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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45895a79ea
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调整LoadLockPumpRoutine.cs中LockPump2()的执行时机。
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2022-11-18 17:27:31 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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511c0a2a07
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以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。
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2022-11-18 15:07:11 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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f5320327c2
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增加设备锁。
Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.
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2022-11-18 12:22:48 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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9a676aaef3
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Update from SVN,更新如下:
TM腔增加Purge。
Buffer闸板阀保持常开。
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2022-11-17 10:32:07 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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fd1fc148f8
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修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。
增加新类DeviceLocker。
SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。
TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
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2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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0fe32dc53e
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调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中,强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时,已确保收到正确的DI信号:UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
THINKPAD
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1d3fa65d1e
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Simulator中增加V124打开时Unload/TM压力平衡过程模拟。
优化TMSlitValveRoutine函数异常时的错误信息,输出信息中增加出错的函数名。
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2022-11-10 16:12:23 +08:00 |
THINKPAD
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84e529ff48
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从Load、UnLoad PrepareTransferRoutine中移除吹扫次数的设定。
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2022-11-08 15:59:23 +08:00 |
THINKPAD
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4ae40665c6
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Issue2:现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。
需求文件更新。
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2022-11-07 17:19:13 +08:00 |
THINKPAD
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a48bf32371
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Update from SVN.
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2022-11-02 23:47:56 +08:00 |
THINKPAD
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372fc3798a
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恢复Unload腔SlowPump(DO-62:DO_UnloadSlowPump)时的Interlock。
Unload腔SlowPump时如果触发Interlock,输入Warning信息,而不是Alarm。
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2022-11-01 10:55:21 +08:00 |
THINKPAD
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ff5e299843
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取消磁流体转速为0时Disable的功能。
恢复Unload腔执行SlowPump时,如果Interlock不满足,产生Alarm,而不是Warning。
删除TM/Interlock/DO-62的DI-8限制条件。
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2022-10-24 11:10:40 +08:00 |
THINKPAD
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eb7c2a64f5
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修正AETemp对象Reset()方法中读取EnableLog设置时使用的配置名称。
LoadLockGroupRoutine的Monitor方法中先执行TryResetServo()以重置伺服驱动器。
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2022-10-18 16:17:19 +08:00 |
THINKPAD
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73d0afdcec
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调整UnloadBaseRoutine中SlowPump()函数执行错误是的打印信息。
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2022-10-18 14:38:06 +08:00 |
THINKPAD
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e6017c3033
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Unload腔执行SlowPump时DO-62(DO_UnloadSlowPump)互锁报警更改为警告。。
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2022-10-18 14:30:38 +08:00 |
THINKPAD
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432a413904
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LoadLockGroupRoutine.cs增加自动复位伺服功能。
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2022-10-15 13:01:13 +08:00 |
THINKPAD
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ace87057b8
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PMMotionViewModel.cs中的函數签名改为out string,直接输出信息,使信息更加准确。
优化IoInterlock.cs中函数SetPressureRisingUpRate()的语法。
系统设置中的项目LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位改为分钟。
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2022-10-09 22:38:21 +08:00 |
THINKPAD
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02e00cc4f0
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
THINKPAD
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1a4ec78ca9
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EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home。
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2022-09-29 12:09:18 +08:00 |
THINKPAD
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8e5c04f034
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修正TrayRobot Routine中的一些信息。
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2022-09-29 11:01:13 +08:00 |
THINKPAD
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1ff7c38cd7
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修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。
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2022-09-29 10:20:05 +08:00 |
THINKPAD
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b4d749b0e8
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DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。
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2022-09-28 11:01:42 +08:00 |
THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |