 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。
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2022-11-28 09:08:49 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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新增Load、UnLoad取放盘时持续vent的功能。
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2022-11-26 22:57:52 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。
修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时，第一个Tray进入Load后，无法进行后续动作的问题。
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2022-11-24 13:34:37 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。
新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。
优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑，当Wafer进入UnLoad后随即开始计时，直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中，已提高效率。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad，并且Load有盘准备让TMRobot拿时，系统冲突无动作的问题。
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2022-11-24 09:15:38 +08:00 |
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THINKPAD
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Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。
需求文件更新。
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2022-11-07 17:19:13 +08:00 |
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THINKPAD
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PMMotionViewModel.cs中的函數签名改为out string，直接输出信息，使信息更加准确。
优化IoInterlock.cs中函数SetPressureRisingUpRate()的语法。
系统设置中的项目LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位改为分钟。
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2022-10-09 22:38:21 +08:00 |
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THINKPAD
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02e00cc4f0
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
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THINKPAD
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EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home。
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2022-09-29 12:09:18 +08:00 |
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THINKPAD
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8e5c04f034
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修正TrayRobot Routine中的一些信息。
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2022-09-29 11:01:13 +08:00 |
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THINKPAD
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修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。
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2022-09-29 10:20:05 +08:00 |
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THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |