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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD	13854a92ab	新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。	2022-11-28 09:08:49 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD	cccd9748a8	新增Load、UnLoad取放盘时持续vent的功能。	2022-11-26 22:57:52 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD	95c779cf76	修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。 ... 新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。 优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑，当Wafer进入UnLoad后随即开始计时，直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中，已提高效率。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad，并且Load有盘准备让TMRobot拿时，系统冲突无动作的问题。	2022-11-24 09:15:38 +08:00
THINKPAD	4ae40665c6	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。 ... 需求文件更新。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
THINKPAD	02e00cc4f0	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00