 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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ab3478e500
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修正TM Purge时可能充气到ATM的问题。
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2022-11-28 13:29:48 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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ca573ac511
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Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。
当TMRobot向Buffer放盘后，可根据Sequence中的配置进行Purge。
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2022-11-23 13:27:23 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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8ec29a9fa3
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修正TMRobotPlaceRoutine中没有正确关闭闸板阀的问题。
需求文件更新。
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2022-11-21 20:33:57 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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88379f8831
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取消TM Place后的Purge。
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2022-11-21 14:53:03 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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Update from SVN，更新如下：
TM腔增加Purge。
Buffer闸板阀保持常开。
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2022-11-17 10:32:07 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修改和优化AutoTransfer。
增加触发器，修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时，判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。
增加新类DeviceLocker。
SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制，已避免潜在的多线程问题。
TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时，解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
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2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
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THINKPAD
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Simulator中增加V124打开时Unload/TM压力平衡过程模拟。
优化TMSlitValveRoutine函数异常时的错误信息，输出信息中增加出错的函数名。
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2022-11-10 16:12:23 +08:00 |
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THINKPAD
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |