 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机，Group后总是Purge，但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
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2022-11-17 18:01:52 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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SchedulerLoadLock中增加Wafer Place以后的Purge标记。
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2022-11-17 10:31:18 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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84fc071e5d
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优化ReturnAllWafer。
1.当Wafer机械手上的Wafer来源不明时，给出警告。
2.重写UnLoad流程，增加Purge
优化AutoTransfer中的变量名。
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2022-11-16 17:19:06 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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fd1fc148f8
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修改和优化AutoTransfer。
增加触发器，修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时，判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。
增加新类DeviceLocker。
SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制，已避免潜在的多线程问题。
TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时，解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
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2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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331702a0d8
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AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作，Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
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2022-11-15 17:18:13 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
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THINKPAD
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更新需求文件。
版本更新到v1.0.0.26
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2022-11-01 15:38:35 +08:00 |
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THINKPAD
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19561cd0cf
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优化CreateJob函数中校验Sequence错误时的输出信息。
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2022-10-13 22:04:38 +08:00 |
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THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |