待修复问题：




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					Sic 系统更新历史记录

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Sic04  2022-10-10 Version 1.0.0.6

1.增加下述虚拟DO用于产生报警输出给PLC：DO_TC1PyroWarnMaxDiff、DO_TC1AeTempRaisingFast、DO_TC2PyroWarnMaxDiff、DO_TC2AeTempRaisingFast。
2.修正RecipeFormat.xml中列61和64的编号显示错误。
3.Interlock配置中移除DI-40限制。



Sic04  2022-10-09 Version 1.0.0.5

1.系统设置中的LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位更改为分钟。
2.系统Init和Reset时，重置PMInterlock，以使DO-192输出高电平以取消报警。



Sic04  2022-09-30 Version 1.0.0.4

1.修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。
2.EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home，而不会被锁定。
3.修正TrayRobot Routine中的一些信息。



Sic04  2022-09-28 Version 1.0.0.3

1.DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。



Sic04  2022-09-27 Version 1.0.0.2

1.删除AO-90、AO-91.



Sic04  2022-09-26 Version 1.0.0.1

1.修正切换页面时，Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。
2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2，仅保留PM1。



Sic04  2022-09-14 Version 1.0.0.0

1.从最新的Sic02 version 1.1.8.4 移植
2.更新IO表。