待修复问题：




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					Sic 系统更新历史记录

Sic04  2022-10-19 Version 1.0.0.17
1.修正PMProcessView界面中Recipe显示问题。
2.PM Process监控窗口更改为内容随窗口缩放大小。
3.调整PM Process监控窗口表格线条。




Sic04  2022-10-18 Version 1.0.0.16
1.PM Rotation取消ServoReady信号检查
2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable



Sic04  2022-10-18 Version 1.0.0.15
1.修正AETemp对象Reset()方法中读取EnableLog设置时使用的配置名称。
2.LoadLockGroupRoutine的Monitor方法中先执行TryResetServo()以重置伺服驱动器。
3.修改process退出时的输出信息，增加当前Recipe的Step已消耗的时长。



Sic04  2022-10-18 Version 1.0.0.14
1.Unload腔执行SlowPump时DO-62（DO_UnloadSlowPump）互锁报警更改为警告。。
2.PM IO恢复DI-345，并移除DO-240
3.PM的Interlock配置中DI-4更改为DI-345.




Sic04  2022-10-18 Version 1.0.0.13
1.PM气路图中V27后的泄压阀压力显示改为70mbar。
2.PM Interlock增加DI-84\85\86\87限制。
3.修改系统设置中的一些错误描述。
4.修改系统设置中MFC32的最大值和默认值。
5.PMMotion界面中恢复隔热罩Jog功能。
6.Recipe Editor中始终使能Refresh列表按钮。


Sic04  2022-10-17 Version 1.0.0.12
1.修正AETemp设备未添加的问题！



Sic04  2022-10-15 Version 1.0.0.11
1.修正RecipeEditor中无法保存Ratio类数据的问题。



Sic04  2022-10-14 Version 1.0.0.10
1.LoadLockGroupRoutine.cs增加自动复位伺服功能。
2.修正DataView中如果更改了Factor和Offset，重新查询后Factor和Offset失效的问题。



Sic04  2022-10-13 Version 1.0.0.9
1.PMInterlock中恢复DI-4限制。
2.新增软点DO-240。
3.新增系统配置项PM.PressureAboveATMSW。
4.DO-240绑定到PT1压力值，当PT1压力超过设定值时，认为PM腔已超过大气压，则DO-240输出1。



Sic04  2022-10-11 Version 1.0.0.8
1.优化AE连接超时问题。
2.修正TMLeakCheckHistory中条目重复的问题。
3.PMInterlock中移除DI-4限制。


Sic04  2022-10-10 Version 1.0.0.7
1.从PMMotionView界面中ConfinementRing卡片中删除任意距离上升下降功能。



Sic04  2022-10-10 Version 1.0.0.6

1.增加下述虚拟DO用于产生报警输出给PLC：DO_TC1PyroWarnMaxDiff、DO_TC1AeTempRaisingFast、DO_TC2PyroWarnMaxDiff、DO_TC2AeTempRaisingFast。
2.修正RecipeFormat.xml中列61和64的编号显示错误。
3.Interlock配置中移除DI-40限制。



Sic04  2022-10-09 Version 1.0.0.5

1.系统设置中的LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位更改为分钟。
2.系统Init和Reset时，重置PMInterlock，以使DO-192输出高电平以取消报警。



Sic04  2022-09-30 Version 1.0.0.4

1.修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。
2.EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home，而不会被锁定。
3.修正TrayRobot Routine中的一些信息。



Sic04  2022-09-28 Version 1.0.0.3

1.DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。



Sic04  2022-09-27 Version 1.0.0.2

1.删除AO-90、AO-91.



Sic04  2022-09-26 Version 1.0.0.1

1.修正切换页面时，Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。
2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2，仅保留PM1。



Sic04  2022-09-14 Version 1.0.0.0

1.从最新的Sic02 version 1.1.8.4 移植
2.更新IO表。