待修复问题: --------------------------------------------------------------------------------- Sic 系统更新历史记录 --------------------------------------------------------------------------------- Sic04 2022-10-09 Version 1.0.0.5 1.系统设置中的LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位更改为分钟。 2.系统Init和Reset时,重置PMInterlock,以使DO-192输出高电平以取消报警。 Sic04 2022-09-30 Version 1.0.0.4 1.修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。 2.EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home,而不会被锁定。 3.修正TrayRobot Routine中的一些信息。 Sic04 2022-09-28 Version 1.0.0.3 1.DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。 Sic04 2022-09-27 Version 1.0.0.2 1.删除AO-90、AO-91. Sic04 2022-09-26 Version 1.0.0.1 1.修正切换页面时,Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。 2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2,仅保留PM1。 Sic04 2022-09-14 Version 1.0.0.0 1.从最新的Sic02 version 1.1.8.4 移植 2.更新IO表。