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Aligners
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
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Buffers
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
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Cassettes
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
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Config
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新增Load、UnLoad取放盘时持续vent的功能。
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2022-11-26 22:57:52 +08:00 |
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Devices
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
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EFEMs
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新增Load、UnLoad取放盘时持续vent的功能。
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2022-11-26 22:57:52 +08:00 |
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LLs
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修正LoadLockPurgeRoutine和UnLoadPurgeRoutine中设置DO的时机。
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2022-11-22 16:58:21 +08:00 |
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Properties
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
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TMs
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Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。
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2022-11-23 13:27:23 +08:00 |
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UnLoads
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修正UnLoad进行CoolingAndPurge时，未显示PurgeLoop的问题。
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2022-11-24 10:12:47 +08:00 |
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Mainframe.csproj
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新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
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2022-11-23 09:24:24 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
cccd9748a8