Aligners
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
Buffers
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
Cassettes
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
Devices
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
EFEMs
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Issue2:现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。
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2022-11-07 17:19:13 +08:00 |
LLs
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调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
Properties
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
TMs
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修改和优化AutoTransfer。
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2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
UnLoads
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调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
Mainframe.csproj
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Issue2:现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。
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2022-11-07 17:19:13 +08:00 |