DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 1182caa902 修正TM往LoadLock传盘（Wafer+Tray）时，如果LoadLock处于大气压，没有自动抽气，而是TM报错的问题。 ... 修正当TM往LoadLock传盘（Wafer+Tray）时，Tray进入LoadLock，而Wafer还在TMRobot上的问题。		2022-12-23 12:09:33 +08:00
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Core	Load和UnLoad在Home和Reset时复位设备锁。	2022-12-06 13:45:12 +08:00
HardwareUnits	修正TM往LoadLock传盘（Wafer+Tray）时，如果LoadLock处于大气压，没有自动抽气，而是TM报错的问题。	2022-12-23 12:09:33 +08:00
LogicUnits	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
Properties	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
Unit	DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。	2022-09-28 11:01:42 +08:00
RTEquipmentLibrary.csproj	修正所有项目对Common.dll的引用，现在均从ThirdParty/dll/引用。	2022-12-05 18:11:01 +08:00
ReleaseNotes.txt	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00