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Sic04/Modules/Mainframe
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THINKPAD 372fc3798a 恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。 
Unload腔SlowPump时如果触发Interlock，输入Warning信息，而不是Alarm。
 		2022-11-01 10:55:21 +08:00
..
Aligners 将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。 2022-09-29 17:33:25 +08:00
Buffers 将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。 2022-09-29 17:33:25 +08:00
Cassettes Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
Config 恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。 2022-11-01 10:55:21 +08:00
Devices Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
EFEMs PMMotionViewModel.cs中的函數签名改为out string，直接输出信息，使信息更加准确。 2022-10-09 22:38:21 +08:00
LLs 修正AETemp对象Reset()方法中读取EnableLog设置时使用的配置名称。 2022-10-18 16:17:19 +08:00
Properties Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
TMs 将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。 2022-09-29 17:33:25 +08:00
UnLoads 恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。 2022-11-01 10:55:21 +08:00
Mainframe.csproj 将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。 2022-09-29 17:33:25 +08:00