DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD a670b2d2bc 修正UnLoad进行CoolingAndPurge时，未显示PurgeLoop的问题。 ... 修正UnLoad进行CoolingAndPurge时，Purge完成后未及时释放Pump2的问题。		2022-11-24 10:12:47 +08:00
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Mainframe	修正UnLoad进行CoolingAndPurge时，未显示PurgeLoop的问题。	2022-11-24 10:12:47 +08:00
SicPM	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00