DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 95c779cf76 修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。 ... 新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。 优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑，当Wafer进入UnLoad后随即开始计时，直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中，已提高效率。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad，并且Load有盘准备让TMRobot拿时，系统冲突无动作的问题。		2022-11-24 09:15:38 +08:00
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Schedulers	修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。	2022-11-24 09:15:38 +08:00
Systems	增加设备锁。	2022-11-18 12:22:48 +08:00
AutoTransfer.cs	修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。	2022-11-24 09:15:38 +08:00
DemoUtils.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
HomeAll.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
ManualTransfer.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
ReturnAllWafer.cs	优化ReturnAllWafer中UnLoad腔Purge的逻辑。	2022-11-23 14:43:14 +08:00