DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 511c0a2a07 以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。		2022-11-18 15:07:11 +08:00
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Aligners	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Buffers	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Cassettes	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
Config	恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。	2022-11-01 10:55:21 +08:00
Devices	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
EFEMs	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
LLs	以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。	2022-11-18 15:07:11 +08:00
Properties	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TMs	Update from SVN，更新如下：	2022-11-17 10:32:07 +08:00
UnLoads	以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。	2022-11-18 15:07:11 +08:00
Mainframe.csproj	增加设备锁。	2022-11-18 12:22:48 +08:00