Aligners
|
将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
|
2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
Buffers
|
将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
|
2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
Cassettes
|
Add project files.
|
2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
Devices
|
Add project files.
|
2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
EFEMs
|
Issue2:现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。
|
2022-11-07 17:19:13 +08:00 |
LLs
|
调整LoadLockPumpRoutine.cs中LockPump2()的执行时机。
|
2022-11-18 17:27:31 +08:00 |
Properties
|
Add project files.
|
2022-09-19 09:16:33 +08:00 |
TMs
|
Update from SVN,更新如下:
|
2022-11-17 10:32:07 +08:00 |
UnLoads
|
修正UnLoadPurgeRoutine的Start()函数没有锁定Pump2的问题。
|
2022-11-21 09:43:18 +08:00 |
Mainframe.csproj
|
增加设备锁。
|
2022-11-18 12:22:48 +08:00 |