DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD fd1fc148f8 修改和优化AutoTransfer。 ... 增加触发器，修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。 当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时，判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。 增加新类DeviceLocker。 SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制，已避免潜在的多线程问题。 TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时，解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。		2022-11-16 14:18:05 +08:00
..
Aligners	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Buffers	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Cassettes	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
Config	恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。	2022-11-01 10:55:21 +08:00
Devices	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
EFEMs	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
LLs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
Properties	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TMs	修改和优化AutoTransfer。	2022-11-16 14:18:05 +08:00
UnLoads	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
Mainframe.csproj	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00