DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD fd1fc148f8 修改和优化AutoTransfer。 ... 增加触发器，修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。 当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时，判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。 增加新类DeviceLocker。 SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制，已避免潜在的多线程问题。 TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时，解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。		2022-11-16 14:18:05 +08:00
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Routines	修改和优化AutoTransfer。	2022-11-16 14:18:05 +08:00
SicTM.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SicTMRobot.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TMModule.cs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
TMModuleBase.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00