DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 1182caa902 修正TM往LoadLock传盘（Wafer+Tray）时，如果LoadLock处于大气压，没有自动抽气，而是TM报错的问题。 ... 修正当TM往LoadLock传盘（Wafer+Tray）时，Tray进入LoadLock，而Wafer还在TMRobot上的问题。		2022-12-23 12:09:33 +08:00
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RobotSiasunPhoenixB.cs	修正TM往LoadLock传盘（Wafer+Tray）时，如果LoadLock处于大气压，没有自动抽气，而是TM报错的问题。	2022-12-23 12:09:33 +08:00
RobotSiasunPhoenixBConnection.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
RobotSiasunPhoenixBHandler.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00