DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 98cab1dd78 修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。 ... 修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时，第一个Tray进入Load后，无法进行后续动作的问题。		2022-11-24 13:34:37 +08:00
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Mainframe	修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。	2022-11-24 13:34:37 +08:00
SicPM	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00