DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 98cab1dd78 修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。 ... 修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时，第一个Tray进入Load后，无法进行后续动作的问题。		2022-11-24 13:34:37 +08:00
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Aligners	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Buffers	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Cassettes	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
Config	恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。	2022-11-01 10:55:21 +08:00
Devices	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
EFEMs	修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。	2022-11-24 13:34:37 +08:00
LLs	修正LoadLockPurgeRoutine和UnLoadPurgeRoutine中设置DO的时机。	2022-11-22 16:58:21 +08:00
Properties	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TMs	Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。	2022-11-23 13:27:23 +08:00
UnLoads	修正UnLoad进行CoolingAndPurge时，未显示PurgeLoop的问题。	2022-11-24 10:12:47 +08:00
Mainframe.csproj	新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。	2022-11-23 09:24:24 +08:00