DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 95c779cf76 修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。 ... 新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。 优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑，当Wafer进入UnLoad后随即开始计时，直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中，已提高效率。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad，并且Load有盘准备让TMRobot拿时，系统冲突无动作的问题。		2022-11-24 09:15:38 +08:00
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SchedulerAligner.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerBuffer.cs	Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。	2022-11-23 13:27:23 +08:00
SchedulerCassette.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerDBCallback.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerLoadLock.cs	Load腔Purge逻辑修改，无论Tray来自哪里，均只Purge一次。	2022-11-22 18:04:20 +08:00
SchedulerModule.cs	新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。	2022-11-23 09:24:24 +08:00
SchedulerModuleFactory.cs	Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。	2022-11-23 13:27:23 +08:00
SchedulerPM.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerTMRobot.cs	Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。	2022-11-23 13:27:23 +08:00
SchedulerTrayRobot.cs	AutoTransfer优化。	2022-11-17 18:01:52 +08:00
SchedulerUnLoad.cs	修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。	2022-11-24 09:15:38 +08:00
SchedulerWaferRobot.cs	AutoTransfer优化。	2022-11-17 18:01:52 +08:00