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待修复问题:
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Sic 系统更新历史记录
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Sic04 2022-10-14 Version 1.0.0.10
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1.LoadLockGroupRoutine.cs增加自动复位伺服功能。
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2.修正DataView中如果更改了Factor和Offset,重新查询后Factor和Offset失效的问题。
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Sic04 2022-10-13 Version 1.0.0.9
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1.PMInterlock中恢复DI-4限制。
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2.新增软点DO-240。
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3.新增系统配置项PM.PressureAboveATMSW。
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4.DO-240绑定到PT1压力值,当PT1压力超过设定值时,认为PM腔已超过大气压,则DO-240输出1。
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Sic04 2022-10-11 Version 1.0.0.8
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1.优化AE连接超时问题。
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2.修正TMLeakCheckHistory中条目重复的问题。
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3.PMInterlock中移除DI-4限制。
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Sic04 2022-10-10 Version 1.0.0.7
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1.从PMMotionView界面中ConfinementRing卡片中删除任意距离上升下降功能。
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Sic04 2022-10-10 Version 1.0.0.6
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1.增加下述虚拟DO用于产生报警输出给PLC:DO_TC1PyroWarnMaxDiff、DO_TC1AeTempRaisingFast、DO_TC2PyroWarnMaxDiff、DO_TC2AeTempRaisingFast。
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2.修正RecipeFormat.xml中列61和64的编号显示错误。
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3.Interlock配置中移除DI-40限制。
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Sic04 2022-10-09 Version 1.0.0.5
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1.系统设置中的LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位更改为分钟。
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2.系统Init和Reset时,重置PMInterlock,以使DO-192输出高电平以取消报警。
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Sic04 2022-09-30 Version 1.0.0.4
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1.修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。
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2.EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home,而不会被锁定。
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3.修正TrayRobot Routine中的一些信息。
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Sic04 2022-09-28 Version 1.0.0.3
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1.DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。
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Sic04 2022-09-27 Version 1.0.0.2
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1.删除AO-90、AO-91.
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Sic04 2022-09-26 Version 1.0.0.1
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1.修正切换页面时,Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。
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2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2,仅保留PM1。
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Sic04 2022-09-14 Version 1.0.0.0
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1.从最新的Sic02 version 1.1.8.4 移植
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2.更新IO表。 |