DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 0fe32dc53e 调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。 ... PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。 修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。 下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,		2022-11-14 16:42:44 +08:00
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Aligners	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Buffers	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Cassettes	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
Config	恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。	2022-11-01 10:55:21 +08:00
Devices	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
EFEMs	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
LLs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
Properties	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TMs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
UnLoads	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
Mainframe.csproj	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00