DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 0fe32dc53e 调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。 ... PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。 修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。 下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,		2022-11-14 16:42:44 +08:00
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Routines	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
SicTM.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SicTMRobot.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TMModule.cs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
TMModuleBase.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00