DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 0fe32dc53e 调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。 ... PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。 修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。 下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,		2022-11-14 16:42:44 +08:00
..
TMBaseRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMHomeRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMLeakcheckRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMPressureBalancePidRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMPressureBalanceRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMPumpRoutine.cs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
TMPurgeRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMRobotExtendRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMRobotGoToRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMRobotHomeRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMRobotPickAndPlaceRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMRobotPickRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMRobotPlaceRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMRobotRetractRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMServoRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMSlitValveRoutine.cs	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
TMVentRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TMVerifySlitValveRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00