Sic04/SicRT/Equipments/Schedulers
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 331702a0d8 AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
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SchedulerAligner.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerBuffer.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerCassette.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerDBCallback.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerLoadLock.cs 从SchedulerLoadLock中移除SeparateWaferTray()和CheckWaferTraySeparated()的实现。 2022-11-14 09:22:13 +08:00
SchedulerModule.cs AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。 2022-11-15 17:18:13 +08:00
SchedulerModuleFactory.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerPM.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerTMRobot.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerTrayRobot.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerUnLoad.cs AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。 2022-11-15 17:18:13 +08:00
SchedulerWaferRobot.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00