DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 8b9724541b 移除Sequence中Buffer槽位的限制。 ... AutoTransfer中的UnLoad任务新增Wafer判断，如果WaferRobot、Aligner或Load任意模组上有需要做工艺的Wafer，则不执行UnLoad任务。		2022-12-16 15:27:04 +08:00
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Mainframe	移除Sequence中Buffer槽位的限制。	2022-12-16 15:27:04 +08:00
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