4号机源码

DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 95c779cf76 修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。 ... 新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。 优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑，当Wafer进入UnLoad后随即开始计时，直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中，已提高效率。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad，并且Load有盘准备让TMRobot拿时，系统冲突无动作的问题。		2022-11-24 09:15:38 +08:00
Documents	修正TMRobotPlaceRoutine中没有正确关闭闸板阀的问题。	2022-11-21 20:33:57 +08:00
FrameworkLocal	BaseRoutineWithDeviceLocker类中的LockPump2函数默认超时改为30分钟。	2022-11-23 22:53:50 +08:00
Modules	修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。	2022-11-24 09:15:38 +08:00
SicRT	修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。	2022-11-24 09:15:38 +08:00
SicSetup/Sic_Setup	1.修正切换页面时，Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。	2022-09-26 10:49:29 +08:00
SicSimulator	主程序版本升级至v1.0.2.34	2022-11-23 17:32:18 +08:00
SicUI	主程序版本升级至v1.0.2.34	2022-11-23 17:32:18 +08:00
Sicentury.Core	BaseRoutineWithDeviceLocker类中的LockPump2函数默认超时改为30分钟。	2022-11-23 22:53:50 +08:00
ThirdParty/dlls	更新MECF.Framework.Common.dll	2022-11-17 10:02:47 +08:00
Yalv	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
.gitattributes	Add .gitattributes and .gitignore.	2022-09-19 09:16:25 +08:00
.gitignore	update gitignore file.	2022-09-28 17:07:09 +08:00
Sic04.sln	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00