DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD a562f2cd3a 优化ReturnAllWafer中UnLoad腔Purge的逻辑。		2022-11-23 14:43:14 +08:00
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Config	Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。	2022-11-23 13:27:23 +08:00
Equipments	优化ReturnAllWafer中UnLoad腔Purge的逻辑。	2022-11-23 14:43:14 +08:00
Instances	增加设备锁。	2022-11-18 12:22:48 +08:00
Properties	修正TMRobotPlaceRoutine中没有正确关闭闸板阀的问题。	2022-11-21 20:33:57 +08:00
Resources	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
App.config	SicRT输出xml格式log的滚动周期从300天改为90天。	2022-11-14 09:23:15 +08:00
ReleaseNotes.txt	修正TMRobotPlaceRoutine中没有正确关闭闸板阀的问题。	2022-11-21 20:33:57 +08:00
SicRT.csproj	增加设备锁。	2022-11-18 12:22:48 +08:00