DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 4c7aa1ef93 修正LoadLockPurgeRoutine中执行_tmIoInterLock.DoLLCyclePurgeRoutineRunning = false引发的互锁错误。 ... 修正UnLoadPurgeRoutine中执行_tmIoInterLock.DoLLCyclePurgeRoutineRunning = false引发的互锁错误。 修正SimulatorSystem中充气速率，避免仿真时反复执行PrepareTransfer。		2022-11-22 11:57:23 +08:00
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Mainframe	修正LoadLockPurgeRoutine中执行_tmIoInterLock.DoLLCyclePurgeRoutineRunning = false引发的互锁错误。	2022-11-22 11:57:23 +08:00
SicPM	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00