DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。 优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑,当Wafer进入UnLoad后随即开始计时,直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中,已提高效率。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。 修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad,并且Load有盘准备让TMRobot拿时,系统冲突无动作的问题。 |
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