Sic04/SicRT/Equipments/Schedulers
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 73cd6bc5c9 将WaferRobot和TrayRobot的控制逻辑从EFEM中分离出来。 2022-12-20 16:00:11 +08:00
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SchedulerAligner.cs SchedulerAligner新增HasAligned属性。 2022-12-16 10:42:04 +08:00
SchedulerBuffer.cs 优化AutoTransfer逻辑,TMRobot不再提前拿盘。 2022-12-07 07:12:23 +08:00
SchedulerCassette.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerDBCallback.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerLoadLock.cs Load腔Purge逻辑修改,无论Tray来自哪里,均只Purge一次。 2022-11-22 18:04:20 +08:00
SchedulerModule.cs 新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。 2022-11-23 09:24:24 +08:00
SchedulerModuleFactory.cs Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。 2022-11-23 13:27:23 +08:00
SchedulerPM.cs Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00
SchedulerTMRobot.cs Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。 2022-11-23 13:27:23 +08:00
SchedulerTrayRobot.cs 将WaferRobot和TrayRobot的控制逻辑从EFEM中分离出来。 2022-12-20 16:00:11 +08:00
SchedulerUnLoad.cs 修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。 2022-11-24 09:15:38 +08:00
SchedulerWaferRobot.cs 将WaferRobot和TrayRobot的控制逻辑从EFEM中分离出来。 2022-12-20 16:00:11 +08:00