DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 98cab1dd78 修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。 ... 修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时，第一个Tray进入Load后，无法进行后续动作的问题。		2022-11-24 13:34:37 +08:00
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Routines	修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。	2022-11-24 09:15:38 +08:00
EFEMModule.cs	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
EFEMModuleBase.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SicEFEM.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SicEfemRobot.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TrayRobotModule.cs	修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。	2022-11-24 13:34:37 +08:00
WaferRobotModule.cs	修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。	2022-11-24 13:34:37 +08:00