DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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调整LoadLock腔Purge时机,Group后总是Purge,但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。 修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。 LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。 |
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Account | ||
DBModel.sql | ||
EventDefine.xml | ||
IoProviderConfig.xml | ||
SequenceFormat.xml | ||
SignalTower.xml | ||
System.sccfg |