DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD ca573ac511 Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。 ... 当TMRobot向Buffer放盘后，可根据Sequence中的配置进行Purge。		2022-11-23 13:27:23 +08:00
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Mainframe	Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。	2022-11-23 13:27:23 +08:00
SicPM	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00