DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD ab3478e500 修正TM Purge时可能充气到ATM的问题。		2022-11-28 13:29:48 +08:00
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Aligners	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Buffers	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Cassettes	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
Config	新增Load、UnLoad取放盘时持续vent的功能。	2022-11-26 22:57:52 +08:00
Devices	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
EFEMs	新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。	2022-11-28 09:08:49 +08:00
LLs	修正LoadLockPurgeRoutine和UnLoadPurgeRoutine中设置DO的时机。	2022-11-22 16:58:21 +08:00
Properties	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TMs	修正TM Purge时可能充气到ATM的问题。	2022-11-28 13:29:48 +08:00
UnLoads	修正UnLoad进行CoolingAndPurge时，未显示PurgeLoop的问题。	2022-11-24 10:12:47 +08:00
Mainframe.csproj	新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。	2022-11-23 09:24:24 +08:00