DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 0fe32dc53e 调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。 ... PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。 修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。 下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,		2022-11-14 16:42:44 +08:00
..
Config	Update from SVN.	2022-11-02 23:47:56 +08:00
Devices	IoMFC在Ramp时打印日志。	2022-10-29 17:37:09 +08:00
PmDevices	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
Properties	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
RecipeExecutions	移除龙工修改的Recipe相关的代码，（验证后在推入主线）	2022-11-04 09:52:35 +08:00
RecipeRoutine	新增软DO-186/187，以及其相关控制逻辑。	2022-10-24 13:47:42 +08:00
Routines	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。	2022-11-14 16:42:44 +08:00
Utilities	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
PMModule.cs	Fix Issue20: 允许PM从ProcessIdle进入Service模式。	2022-11-08 13:35:55 +08:00
PMModuleBase.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
PMModuleDevice.cs	Update from svn.	2022-10-19 10:39:00 +08:00
PMModuleInterlock.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SicPM.csproj	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00