DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD eea091a572 UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。		2022-11-23 10:24:01 +08:00
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Aligners	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Buffers	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
Cassettes	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
Config	恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。	2022-11-01 10:55:21 +08:00
Devices	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
EFEMs	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
LLs	修正LoadLockPurgeRoutine和UnLoadPurgeRoutine中设置DO的时机。	2022-11-22 16:58:21 +08:00
Properties	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TMs	修正TMRobotPlaceRoutine中没有正确关闭闸板阀的问题。	2022-11-21 20:33:57 +08:00
UnLoads	UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。	2022-11-23 10:24:01 +08:00
Mainframe.csproj	新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。	2022-11-23 09:24:24 +08:00