Sic04/Modules
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 339b56e06d 新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定,当Sequence中的Cooling时间不可用时,回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
2022-11-23 09:24:24 +08:00
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Mainframe 新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。 2022-11-23 09:24:24 +08:00
SicPM 调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。 2022-11-14 16:42:44 +08:00