DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 13854a92ab 新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。		2022-11-28 09:08:49 +08:00
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Routines	新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。	2022-11-28 09:08:49 +08:00
EFEMModule.cs	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
EFEMModuleBase.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SicEFEM.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
SicEfemRobot.cs	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00
TrayRobotModule.cs	修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。	2022-11-24 13:34:37 +08:00
WaferRobotModule.cs	修改TrayRobot和WaferRobot状态名称，使其更简短。	2022-11-24 13:34:37 +08:00