DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 13854a92ab 新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。		2022-11-28 09:08:49 +08:00
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EFEMHomeRoutine.cs	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
EfemBaseRoutine.cs	新增Load、UnLoad取放盘时持续vent的功能。	2022-11-26 22:57:52 +08:00
EfemSlitValveRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TrayRobotHomeRoutine.cs	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
TrayRobotMapRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
TrayRobotPickRoutine.cs	新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。	2022-11-28 09:08:49 +08:00
TrayRobotPlaceRoutine.cs	新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。	2022-11-28 09:08:49 +08:00
WaferRobotHomeRoutine.cs	Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。	2022-11-07 17:19:13 +08:00
WaferRobotMapRoutine.cs	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
WaferRobotPickRoutine.cs	新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。	2022-11-28 09:08:49 +08:00
WaferRobotPlaceRoutine.cs	新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时，以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。	2022-11-28 09:08:49 +08:00